全晶圓代工龍頭台積工廠降溫電創辦人張忠謀去年宣布退休,不過張忠謀才退休半年多,台積電就連環爆出問題,繼前陣子的病毒事件,再爆出南科的12吋晶圓廠Fab14B廠,採用不合格化學原料,上萬片晶圓因此報廢。對此,法人點名日商信越、JSR 以及陶氏化學等3家供應廠商,其中更以陶氏化學嫌疑最大。
台積電昨被爆出問題的12吋晶圓廠Fab14B廠,主要以12、16奈米製程為主,主要客戶為NVIDIA、聯發科、華為海思等,此次問題點是,台積電採用了供應商提充的光阻液不合格,導致晶圓良率下降,上萬片晶圓報廢。
台積電原先表示,報廢晶圓數超過1萬片,不過經過初步估計後,該案並不會影響第1季的財測;不過後來卻改口,受影工廠負壓風扇響的晶圓大部分能在第1季補回,若無法補回,也能在第2季補回。
一般觀念都知道熱空氣上升的原理,所以在屋頂開設太子樓或裝設自然通風球,但都還是無法達到改善悶熱及通風不良的困擾。負壓排風扇利用空氣對流原理將廠內熱氣、穢氣完全排出廠外,由裝設地點的對向,大門或窗戶補入新空氣,可計算整廠每秒的風速,每小時的換氣次數任何悶熱、通風不良等問題均可改善。要作好一件通風工程,必須精確負壓排風扇計算面積、體積、斷面積及正確器材之選擇才能完全解決通風不良 、 悶熱的困擾。
而此次事件,業界人士質疑,不合格的化學原料怎麼會驗收,難道是台積電推卸給供應商?而此次的光阻液供應商有三家,包含日商信越、JSR 與陶氏化學,事件影響晶圓片數高達9萬片,業界人士直指就是陶氏化學出包,台積電最快也會在本周進行測試,目前仍待調查中,至於真正受影響的晶圓數量,則是要等到台積電自行向外界說明。
廠房內人員比較密集,面積比不是很大,無發熱量高的設備,廠房內通風換氣次數應設計為30-40次每小時,主要是為增加廠房內空氣含氧量和污濁的空氣快速排出。人員分布不是很密集,廠房面積比較大,自然通風條件比較好,廠房內沒有高發熱源設備,室內溫度低於32度的廠房,廠房通風換氣次數設計為2通風設備5-30次每小時就可以啦。廠房內有發熱量大的設備,工業水冷扇室內人員密集,廠房內空氣溫度有高溫悶熱情況,廠房通風換氣次數應設計為40-50次每小時,主要是為了讓高溫悶熱的空氣迅速排出室外,降低室內環境溫度,增加廠房內空氣含氧量。
限會員,要發表迴響,請先登入


