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2】
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https://youtu.be/Rw_TSSiHFC8?si=gHlE5bizdD9CPm88
3】
高科技：降低DUV不良率(
降低率可
達
99%)
https://www.tomshardware.com/tech-industry/semiconductors/chinese-scientists-discover-method-to-cut-defects-by-99-percent-with-duv-chipmaking-equipment-but-it-destroys-euv-pattern-fidelity-analyzing-photoresist-clustering-with-cryo-et-at-105-c
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