去聖約翰研習營所做的物品
2009/02/05 19:24
瀏覽634
迴響0
推薦1
引用0
製作過程
1.影像處理(光罩製作)
- 挑選製作的照片,經由繪圖程式,轉成黑白高反差影像,利用投影片印出,貼在透明光罩上
2.基板清洗
- 將要被轉印的基板,京標準清洗程序去除油汙及雜質後,用氮氣槍吹乾
3.金屬蒸鍍(銅)
- 將清洗好的基板,黏上教帶,貼在蒸(濺)鍍機兩側的腔壁上,之後關上腔體,抽真空進行金屬的蒸鍍製程,鍍膜厚度視需求調整,通常是200nm
4.光阻塗佈
- 將以鍍膜的基板,利用旋鍍機,均勻旋塗上一層薄光阻(2x10的-6次方m)後,放入烘箱軟烤,使光阻凝固
5.光阻曝光
- 將已塗好光阻的基板,利用曝光機與先前製作的光罩,對準位置後進行曝光程序(曝光時間約為8秒)
6.光阻顯影
- 曝光玩後的光阻,經由顯影液顯影出光罩圖案後,用純水洗淨吹乾
7.蝕刻金屬
- 將有圖案的光阻基板,置入蝕刻液中數秒,此時沒有被光阻保護到的金屬將被蝕刻掉,只剩下有光阻保護的圖案
8.轉印完成
- 蝕刻完後的基板,在用純水洗淨吹乾後,即完成照片轉印
以上這些是下面作品須要的過程,缺少一個過程就不會有以下這麼漂亮的圖出現了
個人感想:很高興這次我有去參加這個訓練營,之前去參加台大的奈米訓練營,只友介紹,而這次參加聖約翰的因為時間比較長,所以有做出成品,而也有了之前台大的一些基本概念導至於我對這個比較不陌生,而很高興有這個機會可以去參加聖約翰策略聯盟體驗營,因為學到了很多,有來自宜蘭的羅東高中和我們惇敘工商不同科的同學一起參加,也經過這幾天的努力下來終於完成這項很困難的作品,因為每一個步驟當中只要有出錯那就做不出來了,也很感謝聖約翰的學長和教授的教導,才能讓我們完成這個作品,真的很感謝,花了這幾天的時間去學是值得的。
以下是照片ˇ


