缺陷自動檢測設備

載物台主要規格: 6吋機型

• 定位精確度≦0.00003mm

• 最小移動距離≦0.00003mm

• 量測檯面尺寸≧160×160 mm

• 量測檯面荷重≧10Kg

• 量測檯面移動面積≧160×160 mm

• 重複精度≦0.00003mm

• 量測面積≧160×160 mm

• 載物台表面平整度≦0.02mm

依客戶需求提供~可達奈米級的載物台

光學主要規格:

依客戶需求提供

可檢測項目：

平面度,正位度,角度,寬度,間距,同心圓,面積,圓率,周長,形狀,矩形,圓形,橢圓,多邊形,直線數量,色差,刮痕,灰塵,異物,相似度,文字辨識,印刷品質,亮度,位置補正,位置旋轉補正,區域調整,上下限值,2 值化窗口,灰階窗口,2 值化邊緣,灰階邊緣,特徵抽取,智能匹配,傷痕檢測,連接2值化窗口,連接器灰階窗口,連接器灰階邊緣,設定座標,座標原點,水平, 垂直的係數,注釋輸入,標記,SPC ,可同時執行1000 種檢測/秒攝影機最多8個/品種。通過運用高速畫面來顯示影像。可在8個顏色中進行選擇

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